晶圆是制作半导体不可或缺的材料,晶圆表面冗余物、晶体缺陷、机械损伤(如物理划痕)是较为晶圆常见的缺陷。
晶圆表面的冗余物包括纳米级的微小颗粒、微米级的灰尘、相关工序的残留物。对晶圆表面瑕疵检测是晶圆生产厂家极为重视的生产环节。
通常晶圆瑕疵检查会采用专用LED手电筒或LED检测灯辅助检查人员目视完成检查。
TANK007LED手电筒制造厂家给大伙讲讲晶圆检查专用LED手电筒到底有什么讲究?
1、晶圆检查专用LED手电筒对亮度的要求
用于晶圆片瑕疵检测的专用LED手电筒在距离30cm处的亮度必须达到300 000lux,通常需要20W的LED芯片。而传统卤素检查灯达到同等亮度则需要185W。
2. 晶圆检查专用LED手电筒对温度的要求
虽然对晶圆检查对环境温度没有苛刻的要求,但采用冷光源LED晶圆检查专用手电筒显然在功耗上和低温表现更加突出,通常可以控制在50摄氏度以内。采用卤素灯光源的晶圆瑕疵检查专用手电筒的工作温度动辄60摄氏度以上在功耗和节能上不及LED晶圆检查手电筒。
3. 晶圆检查专用LED手电筒对寿命的要求
为了减少维护成本,晶圆生产厂家更喜欢采用LED手电筒对晶圆片瑕疵检测,这是考虑到后续维护成本上,LED强光检查手电筒寿命是传统卤素检查灯的数十倍。晶圆片检查专用LED手电筒寿命可达30000小时,卤素检查灯只有几百小时,可谓高下立判。
4.晶圆检查专用LED手电筒 对结构上的要求
晶圆检查专用LED手电筒通常在透明件上会采用光学透镜,并设计有旋转开关来无极调节亮度,这样对于不同的晶圆片瑕疵可使用不同的亮度做到性能与续航的统一。
5. 晶圆检查专用LED手电筒对检查精度的要求
晶圆瑕疵检测专用LED手电筒要求能够检测出晶圆表面低至5UM的瑕疵和缺陷。
以上就是TANK007LED手电筒厂家为朋友们整理的关于晶圆检查专用强光LED手电筒的一些性能要求,当然我们也可以根据客户的要求提供定制版本的晶圆检查专用LED手电。
TANK007探客手电专注led手电筒领域23年,专业的led强光手电筒生产厂家,是中国公安部单警装备供应商,国内led强光手电筒领域领军企业,多家世界500强企业长期合作伙伴,值得信赖。
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