大功率紫外线灯在半导体行业的应用

在半导体制造行业，大功率紫外线灯用于晶圆表面微粒检测。晶圆的切割、清洗会对晶圆表面造成污染，而用大功率紫外线灯辐射能够发现污染点，这对于提高晶圆良品率至关重要。

作为多年来从事紫外线灯研发、设计、制造的深圳紫外线灯品牌TANK007就跟大家伙来聊聊被称为集合几乎人类所有理工学科的智慧的半导体行业为何需要使用大功率紫外线灯。

目前应用于半导体行业的大功率紫外灯分为便携式紫外线灯和固定式紫外线灯。

其中，便携式大功率紫外线灯如大功率紫外线手电筒可用于便携式操作，常见的如检查设备表面尘埃。

而固定式大功率紫外线灯可检查晶圆表面质量和微粒检查。例如台积电、中芯国际和上海微电子等半导体企业都有涉及到大功率紫外线灯。

大功率紫外线灯用于检查半导体洁净室

1、半导体洁净室内部为了保持干净，通常洁净室内气压高于标准大气压才能确保粉尘只出不进。

另外通过安装大型鼓风机，把过滤的清洁空气输入到洁净室中，为了保证温湿度空调系统也是必须的安装的。至于日常检查是否有尘埃落入可借助大功率紫外线灯来检查。

3、为了最大程度减少尘埃在洁净室滞留，洁净室所有气流方向均由上往下为主。

4、进入洁净室内的物料尽量选用不易产生静电的材料，以减少对灰尘的吸附。

5、进出洁净室内的工作人员，严格按照空气吹浴 (air shower) 程序，除去自身表面粉尘。

6、为确保人体及衣物的毛屑，进出洁净室/无尘室的工作人员需穿戴无尘衣，杜绝与外界隔绝接触 

总之，晶圆的制造环境洁净度将直接影响着晶圆的良品率，晶圆制造企业必须要有配套无尘生产环境才能确保晶圆的质量。

TANK007探客手电是专业的紫外线灯研发、生产、销售厂家，紫外线灯行业领军企业，并成为多家世界500强企业长期合作伙伴，值得信赖！

更多紫外线灯相关详情，可查看：紫外线灯